MEMS光スイッチの動作原理

光スイッチは光クロス接続，光アド／ドロップ多重，ネットワーク監視，光回線保護などの機能を実現するためのコアデバイスの一つである。それは、1つまたは複数の選択可能な伝送ウィンドウで、ある範囲内の1つの光学チャネルから別の光信号に変換する。

MEMS光スイッチとは

スイッチング技術に基づいて、メカニカル光スイッチ、熱光学スイッチ、音響光学スイッチ、磁気光学スイッチ、液晶光スイッチ、MEMS光スイッチなどの様々なタイプの光スイッチがある。高速で大容量の光通信の需要の後ろで、コア技術としての電気的伝統的スイッチが徐々に遅れている。これが市場での全光スイッチを生み出した。その中でも，mems光スイッチは，小型，低消費電力，拡張性に優れている。

MEMS光スイッチの動作原理

MEMS（Micro Electro Mechanical System）は、マイクロマシン、マイクロアクチュエータ、信号処理、制御回路などを集積化したマイクロデバイスまたはシステムである。

MEMSは微小機械構造の準備の後に電子的に駆動される必要があるマイクロモータシステムである。代表的な駆動機構は静電引力、電磁力、電歪、熱電対を含む。memsデバイスのすべての駆動機構の中で，静電引力構造は，その簡単さ，容易な制御および低電力消費のために広く使用されている。

MEMS光スイッチは、シリコン結晶上に多数の微小レンズを刻み、静電力または電磁力の作用によってマイクロミラーアレイを回転させ、入力光の伝搬方向を変化させて光路のオン／オフの機能を実現するものである。一般に、MEMS光スイッチは、空間構造、すなわち2 Dスイッチおよび3 Dスイッチに基づいて2つのタイプに分けることができる。